凈化車間及無塵車間潔凈度如何確定(百級,千級,萬級,十萬級)
凈化車間及無塵車間潔凈度如何確定(百級,千級,萬級,十萬級)
凈化車間及無塵車間等級有100級、10000級、100000級、1000000級；無塵車間可根據(jù)要求設(shè)計、施工，百級、千級、萬級、十萬級潔凈室潔凈度。
一、凈化車間的規(guī)格:
凈化車間的規(guī)格一般適用于美國聯(lián)邦規(guī)格No.209B。這個規(guī)格對凈化間的環(huán)境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內(nèi)壓等都進(jìn)行了規(guī)格化規(guī)定。
但是，伴隨著潔凈化程度的不斷提高，美國聯(lián)邦規(guī)格進(jìn)行了改版，其內(nèi)容主要是以潔凈度進(jìn)行分類。
最新版已成為No209E，名稱也進(jìn)行了變更。No.209E的級別表示是把0.5um以上的顆粒數(shù)為10x個/m3，把X表示成級別，同時加上米制M的意思，表示成M3.5等等。
在美國聯(lián)邦規(guī)格No.209B，美國聯(lián)邦規(guī)格No.209E。
在日本，相應(yīng)的規(guī)格是9920。9920的級別表示是把0.1um以上的顆粒數(shù)規(guī)定為10X個，用Y表示級別。9920的級別的主要內(nèi)容。
無塵車間不同用途所要求的潔凈度：
如前所述，凈化間的級別一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4個級別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同，形成必要的級別是不一樣的。例如，在半導(dǎo)體制造工廠等里邊，根據(jù)作業(yè)內(nèi)容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的凈化間。而且，在制藥工廠里，根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序，需有從M3.5到M6.5（100，000）范圍廣泛的級別不等凈化間。因此說，各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間，其要求的潔凈度是不同的。
生物凈化間級別：
100級、10000級、100000級；
粒子生物粒子：室內(nèi)壓力Pa，mmH2O，溫度℃，濕度%氣流換氣次數(shù)，照度Lx，粒徑um。
潔凈無塵車間潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點：
A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點：
A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;
C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。
3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口這是更簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));”梓凈”牌風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂送風(fēng)天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(yōu)點：
A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;
D.送風(fēng)均勻度好。
缺點：
A.溫濕度控制較差;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.FFU的維修頻率高。
4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之無塵車間的特點
A、無塵車間
潔凈無塵車間潔凈度:
LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設(shè)計里是指末端工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級。
潔凈無塵車間室內(nèi)空氣參數(shù)要求:
(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。
(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。
